真空电子技术Issue(4)：P.60-66,7.DOI:10.16540/j.cnki.cn11-2485/tn.2022.04.11
多绝缘层结构Spindt阴极设计及工艺实现
摘要
关键词
多绝缘层结构/Spindt阴极/变性光刻胶去除/微加工分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
姜琪,韩攀阳,杜婷,李兴辉,蔡军,冯进军..多绝缘层结构Spindt阴极设计及工艺实现[J].真空电子技术,2022,(4):P.60-66,7.基金项目
国家自然科学基金重点项目(61831001)。 （61831001）
