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化学镀钴和超级化学镀填充的研究进展(英文)

沈钰李冰冰马艺王增林

电化学2022，Vol.28Issue(7)：P.47-56,10.

电化学2022，Vol.28Issue(7)：P.47-56,10.DOI:10.13208/j.electrochem.2213002

沈钰 ¹李冰冰 ¹马艺 ¹王增林¹

作者信息

化学镀/超级化学镀钴/超级化学镀铜/铜互连线/钴互连线

矿业与冶金

沈钰,李冰冰,马艺,王增林..化学镀钴和超级化学镀填充的研究进展(英文)[J].电化学,2022,28(7):P.47-56,10.

financially supported by the National Natural Science Foundation of China (No. 21972088)。（No. 21972088）

OA北大核心CSTPCD

ISSN：1006-3471

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