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Pd/Pt修饰的AlGaN/GaN HEMT器件氢传感特性研究

杨勇强 张贺秋 薛东阳 梁红伟 夏晓川 徐瑞良 梁永凤 韩永坤 陈帅昊

大连理工大学学报2021,Vol.61Issue(5):531-536,6.
大连理工大学学报2021,Vol.61Issue(5):531-536,6.DOI:10.7511/dllgxb202105012

Pd/Pt修饰的AlGaN/GaN HEMT器件氢传感特性研究

Hydrogen sensing characteristics study of Pd/Pt modified AlGaN/GaN HEMT device

杨勇强 1张贺秋 1薛东阳 1梁红伟 1夏晓川 1徐瑞良 1梁永凤 1韩永坤 1陈帅昊1

作者信息

  • 1. 大连理工大学 微电子学院,辽宁 大连 116620
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摘要

关键词

AlGaN/GaN高电子迁移率晶体管/Pd/Pt合金/氢传感器/氢吸附

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

杨勇强,张贺秋,薛东阳,梁红伟,夏晓川,徐瑞良,梁永凤,韩永坤,陈帅昊..Pd/Pt修饰的AlGaN/GaN HEMT器件氢传感特性研究[J].大连理工大学学报,2021,61(5):531-536,6.

基金项目

国家自然科学基金资助项目(11975257,11675198,12075045,11875097,61574026,61774072) (11975257,11675198,12075045,11875097,61574026,61774072)

中央高校基本科研业务费专项资金资助项目(DUT20RC(3)042,DUT19RC(3)074,DUT19LK45) (DUT20RC(3)

大连市科技创新基金资助项目(2018J12GX060). (2018J12GX060)

大连理工大学学报

OA北大核心CSCDCSTPCD

1000-8608

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