化工学报2022，Vol.73Issue(8)：3307-3325,19.DOI:10.11949/0438-1157.20220583
金属基极紫外光刻胶
Metal-based extreme ultraviolet photoresist
摘要
关键词
极紫外光/光刻胶/集成电路/光敏性/抗刻蚀性分类
化学化工引用本文复制引用
陈昊,陈鹏忠,彭孝军..金属基极紫外光刻胶[J].化工学报,2022,73(8):3307-3325,19.基金项目
国家自然科学基金重大项目(22090011) （22090011）
国家自然科学基金青年基金项目(22008024) （22008024）
山东省重点研发计划项目(2021CXGC010308) （2021CXGC010308）
