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基于迁移学习的大尺寸铸锭晶体硅热场设计

郝佩瑶 郑丽丽 张辉 廖继龙

人工晶体学报2022，Vol.51Issue(8)：1323-1336,14.
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人工晶体学报2022，Vol.51Issue(8)：1323-1336,14.

基于迁移学习的大尺寸铸锭晶体硅热场设计

Hot Zone Design of Large Size Ingot Crystalline Silicon Using Transfer Learning

郝佩瑶 1郑丽丽 1张辉 2廖继龙3

作者信息

  • 1. 清华大学航天航空学院,北京 100084
  • 2. 清华大学工程物理系,北京 100084
  • 3. 江苏协鑫硅材料科技发展有限公司,徐州 221001
  • 折叠

摘要

关键词

G8型铸锭炉/晶体硅/热场设计/迁移学习/神经网络/遗传算法

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

郝佩瑶,郑丽丽,张辉,廖继龙..基于迁移学习的大尺寸铸锭晶体硅热场设计[J].人工晶体学报,2022,51(8):1323-1336,14.

基金项目

国家重点研发计划(2020YFB1506501) （2020YFB1506501）

人工晶体学报

OA北大核心CSTPCD

1000-985X

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