人工晶体学报2022，Vol.51Issue(8)：1361-1369,1377,10.
射频溅射功率对Mn-Co-Ni-O薄膜结构与性能的影响
Effect of Radio Frequency Sputtering Power on the Structure and Properties of Mn-Co-Ni-O Thin Films
摘要
关键词
锰钴镍氧薄膜/射频磁控溅射/后退火/溅射功率/结构性能/光学性能分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
刘丽华,赵晶晶,秦彬皓,杨为家,王海燕..射频溅射功率对Mn-Co-Ni-O薄膜结构与性能的影响[J].人工晶体学报,2022,51(8):1361-1369,1377,10.基金项目
广东省自然科学基金(2022A1515010067) （2022A1515010067）
广州市基础与应用基础研究(202102020169) （202102020169）
