现代电子技术2022，Vol.45Issue(18)：11-16,6.DOI:10.16652/j.issn.1004⁃373x.2022.18.003
一种晶圆自动光学检测系统的混合路径规划算法
A hybrid path planning algorithm for wafer AOI system
摘要
关键词
晶圆检测/光学检测系统/晶圆缺陷/视场分配/增益视场/动态调整/路径优化分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
肖钰坤,张文涛,杜浩,王秀秀..一种晶圆自动光学检测系统的混合路径规划算法[J].现代电子技术,2022,45(18):11-16,6.基金项目
国家科技重大专项课题(2017ZX02101007?003) （2017ZX02101007?003）
国家自然科学基金项目(61965005) （61965005）
广西自然科学基金项目(2019GXNSFDA185010) （2019GXNSFDA185010）
