中国机械工程2022，Vol.33Issue(17)：2023-2028,6.DOI:10.3969/j.issn.1004-132X.2022.17.002
线切蓝宝石晶片面形质量评价方法的试验研究
Experimental Research of Surface Quality Evaluation Method for Wire Saw Sapphire Wafer
摘要
关键词
多线切割/晶片/面形质量/最小加工余量分类
矿业与冶金引用本文复制引用
王兰青,黄辉,崔长彩..线切蓝宝石晶片面形质量评价方法的试验研究[J].中国机械工程,2022,33(17):2023-2028,6.基金项目
国家自然科学基金(51375179) （51375179）
国家自然科学基金海峡联合基金(U1805251) （U1805251）
教育部创新团队发展计划(IRT_17R41) （IRT_17R41）
