表面技术2022，Vol.51Issue(9)：160-167,8.DOI:10.16490/j.cnki.issn.1001-3660.2022.09.000
Zr靶功率对(WMoTaNb)ZrxN薄膜微观组织及性能的影响
Effect of Zr Target Power on Microstructure and Performance of (WMoTaNb) ZrxN Films
曹丽娜 1邵文婷 1陈建 1王富强 1武上焜 1杨巍 1要玉宏 1刘江南1
作者信息
- 1. 西安工业大学 材料与化工学院,西安 710021
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摘要
关键词
反应磁控溅射/(WMoTaNb)ZrxN薄膜/硬度/膜基结合力/摩擦学性能/抗烧蚀性能分类
矿业与冶金引用本文复制引用
曹丽娜,邵文婷,陈建,王富强,武上焜,杨巍,要玉宏,刘江南..Zr靶功率对(WMoTaNb)ZrxN薄膜微观组织及性能的影响[J].表面技术,2022,51(9):160-167,8.
