表面技术2022，Vol.51Issue(9)：311-318,334,9.DOI:10.16490/j.cnki.issn.1001-3660.2022.09.000
1064nm激光高反膜残余应力及其形变分析
Residual Stress and Deformation of 1064 nm High Reflection Films for Laser Systems
摘要
关键词
多层膜/残余应力/等效参考温度/生死单元/应力补偿层/面型分类
数理科学引用本文复制引用
李阳,徐均琪,苏俊宏,袁松松,刘祺,刘政..1064nm激光高反膜残余应力及其形变分析[J].表面技术,2022,51(9):311-318,334,9.基金项目
陕西省国际科技合作与交流计划资助项目(2018KWZ-02) （2018KWZ-02）
西安市智能探视感知重点实验室项目(201805061ZD12CG45) （201805061ZD12CG45）
