测控技术2022，Vol.41Issue(9)：84-89,6.DOI:10.19708/j.ckjs.2022.02.212
一种硅谐振压力传感器敏感芯体的特性测试
Characteristic Test of a Sensitive Core of Silicon Resonant Pressure Sensor
摘要
关键词
硅谐振/压力传感器/自激振荡/幅频特性/相频特性分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
王宏音,姚敏强,李拉兔..一种硅谐振压力传感器敏感芯体的特性测试[J].测控技术,2022,41(9):84-89,6.基金项目
国家重点研发计划(2018YFF01010400) （2018YFF01010400）
