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MEMS摩阻传感器微组装系统研制

薛立伟王雄贾玉蝶申浩陈立国

光学精密工程2022，Vol.30Issue(16)：1943-1954,12.

光学精密工程2022，Vol.30Issue(16)：1943-1954,12.DOI:10.37188/OPE.20223016.1943

Development of micro assembly system for friction resistance sensor manufactured based on MEMS

薛立伟 ¹王雄 ²贾玉蝶 ¹申浩 ¹陈立国¹

作者信息

MEMS封装技术/微操作/显微视觉/精密定位

矿业与冶金

薛立伟,王雄,贾玉蝶,申浩,陈立国..MEMS摩阻传感器微组装系统研制[J].光学精密工程,2022,30(16):1943-1954,12.

国家重点研发计划"制造基础技术与关键部件"重点专项项目(No.2018YFB2002900) （No.2018YFB2002900）

OA北大核心CSTPCD

ISSN：1004-924X

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