光学精密工程2022，Vol.30Issue(16)：1968-1977,10.DOI:10.37188/OPE.20223016.1968
仿生纤毛微流量传感器及其制备方法
Bionic cilia micro flow sensor and its preparation method
摘要
关键词
液滴限制电沉积/仿生纤毛微流量传感器/有限元分析与仿真分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
李俊忠,廖晓波,许世林,庄健,蔡勇..仿生纤毛微流量传感器及其制备方法[J].光学精密工程,2022,30(16):1968-1977,10.基金项目
国家自然科学基金项目(No.52175515) （No.52175515）
制造过程测试技术教育部重点实验室开放基金项目(No.19kfzk01) （No.19kfzk01）
