光学精密工程2022，Vol.30Issue(17)：2058-2066,9.DOI:10.37188/OPE.20223000.0219
基于涡旋光与平面波干涉的微位移测量
Micro-displacement measurement based on interference of vortex beams and plane wave
摘要
关键词
干涉测量/涡旋光/微位移/平面波分类
数理科学引用本文复制引用
韩世泽,杨栋,胡晓宁,杨忠明,庄新港,刘兆军..基于涡旋光与平面波干涉的微位移测量[J].光学精密工程,2022,30(17):2058-2066,9.基金项目
国家自然科学基金资助项目(No.62175131) （No.62175131）
山东省重点研发计划资助项目(No.2020CXGC010204) （No.2020CXGC010204）
安徽省重点研究与开发计划资助项目(No.202104a04020001) （No.202104a04020001）
山东大学基本科研业务费资助项目(No.2020JCG003) （No.2020JCG003）
