光学精密工程2022,Vol.30Issue(17):2067-2076,10.DOI:10.37188/OPE.20223017.2067
光谱共焦法偏心下径向梯度折射率透镜的厚度测量
Thickness measurement of radial gradient index lens under eccentricity by spectral confocal method
摘要
关键词
光谱共焦法/厚度测量/径向梯度折射率透镜/偏心/峰值漂移分类
数理科学引用本文复制引用
李春艳,李庚鹏,刘继红,罗豆,刘佳奕..光谱共焦法偏心下径向梯度折射率透镜的厚度测量[J].光学精密工程,2022,30(17):2067-2076,10.基金项目
国家自然科学基金资助项目(No.61805199) (No.61805199)
陕西省自然科学基金资助项目(No.2022JM-387) (No.2022JM-387)
陕西省重点研发计划资助项目(No.2020GY-127) (No.2020GY-127)
陕西省教育厅专项科研计划资助项目(No.20JK0908) (No.20JK0908)
西安市科技计划项目资助项目(No.2020KJRC0112) (No.2020KJRC0112)