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光谱共焦法偏心下径向梯度折射率透镜的厚度测量

李春艳 李庚鹏 刘继红 罗豆 刘佳奕

光学精密工程2022,Vol.30Issue(17):2067-2076,10.
光学精密工程2022,Vol.30Issue(17):2067-2076,10.DOI:10.37188/OPE.20223017.2067

光谱共焦法偏心下径向梯度折射率透镜的厚度测量

Thickness measurement of radial gradient index lens under eccentricity by spectral confocal method

李春艳 1李庚鹏 1刘继红 1罗豆 1刘佳奕1

作者信息

  • 1. 西安邮电大学电子工程学院,陕西西安710121
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摘要

关键词

光谱共焦法/厚度测量/径向梯度折射率透镜/偏心/峰值漂移

分类

数理科学

引用本文复制引用

李春艳,李庚鹏,刘继红,罗豆,刘佳奕..光谱共焦法偏心下径向梯度折射率透镜的厚度测量[J].光学精密工程,2022,30(17):2067-2076,10.

基金项目

国家自然科学基金资助项目(No.61805199) (No.61805199)

陕西省自然科学基金资助项目(No.2022JM-387) (No.2022JM-387)

陕西省重点研发计划资助项目(No.2020GY-127) (No.2020GY-127)

陕西省教育厅专项科研计划资助项目(No.20JK0908) (No.20JK0908)

西安市科技计划项目资助项目(No.2020KJRC0112) (No.2020KJRC0112)

光学精密工程

OA北大核心CSTPCD

1004-924X

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