光学精密工程2022，Vol.30Issue(17)：2094-2099,6.DOI:10.37188/OPE.20223000.0223
三角放大型压电陶瓷微纳米驱动机构
Mini-piezo-element drive microactuator based on triangular amplification
摘要
关键词
微纳米驱动机构/三角放大型/小压电陶瓷条/输出位移/原子力显微镜分类
机械制造引用本文复制引用
胡逸凡,章海军,倪凯佳..三角放大型压电陶瓷微纳米驱动机构[J].光学精密工程,2022,30(17):2094-2099,6.基金项目
国家自然科学基金资助项目(No.61540019) （No.61540019）
