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多层薄膜的二次电子发射蒙特卡罗模拟研究

彭敏 程文杰 曹猛

空间电子技术2022,Vol.19Issue(4):72-78,7.
空间电子技术2022,Vol.19Issue(4):72-78,7.DOI:10.3969/j.issn.1674-7135.2022.04.009

多层薄膜的二次电子发射蒙特卡罗模拟研究

The study on Monte Carlo simulation of secondary electron emission for multilayer thin films

彭敏 1程文杰 1曹猛1

作者信息

  • 1. 西安交通大学 电子与信息学部 电子物理与器件教育部重点实验室,西安710049
  • 折叠

摘要

关键词

二次电子发射/多层薄膜/蒙特卡罗模拟

分类

航空航天

引用本文复制引用

彭敏,程文杰,曹猛..多层薄膜的二次电子发射蒙特卡罗模拟研究[J].空间电子技术,2022,19(4):72-78,7.

基金项目

国家自然科学基金(编号:61971342,62101434) (编号:61971342,62101434)

空间电子技术

1674-7135

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