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背散射探测器在场发射扫描电镜纳米尺度高分辨表面分析中的应用

岳乃琳 刘红艳 张伟

吉林大学学报:理学版2022,Vol.60Issue(5):P.1189-1194,6.
吉林大学学报:理学版2022,Vol.60Issue(5):P.1189-1194,6.DOI:10.13413/j.cnki.jdxblxb.2022201

背散射探测器在场发射扫描电镜纳米尺度高分辨表面分析中的应用

岳乃琳 1刘红艳 1张伟1

作者信息

  • 1. 吉林大学测试科学实验中心,长春130012
  • 折叠

摘要

关键词

扫描电镜/背散射电子/二次电子/探测器/高分辨

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

岳乃琳,刘红艳,张伟..背散射探测器在场发射扫描电镜纳米尺度高分辨表面分析中的应用[J].吉林大学学报:理学版,2022,60(5):P.1189-1194,6.

基金项目

国家自然科学基金面上项目(批准号:51872115)。 (批准号:51872115)

吉林大学学报:理学版

OA北大核心CSTPCD

1671-5489

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