吉林大学学报:理学版2022,Vol.60Issue(5):P.1189-1194,6.DOI:10.13413/j.cnki.jdxblxb.2022201
背散射探测器在场发射扫描电镜纳米尺度高分辨表面分析中的应用
摘要
关键词
扫描电镜/背散射电子/二次电子/探测器/高分辨分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
岳乃琳,刘红艳,张伟..背散射探测器在场发射扫描电镜纳米尺度高分辨表面分析中的应用[J].吉林大学学报:理学版,2022,60(5):P.1189-1194,6.基金项目
国家自然科学基金面上项目(批准号:51872115)。 (批准号:51872115)