船电技术2022，Vol.42Issue(10)：28-31,4.
稀释气体流量对外延生长3C-SiC薄膜的影响
Effect of diluting gas flow rate on epitaxial grown 3C-SiC thin film
朱佩佩 1熊梦杨 1涂溶2
作者信息
- 1. 武汉船用电力推进装置研究所
- 2. 武汉理工大学,武汉 430064
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摘要
关键词
3C-SiC/大功率电子器件/激光化学气相沉积分类
数理科学引用本文复制引用
朱佩佩,熊梦杨,涂溶..稀释气体流量对外延生长3C-SiC薄膜的影响[J].船电技术,2022,42(10):28-31,4.
