电子科技大学学报2022，Vol.51Issue(5)：715-720,6.DOI:10.12178/1001-0548.2021356
小型化高密度可调控电感耦合等离子体发生器性能研究
Study on Performance of a Miniaturized High Density Inductively Coupled Plasma Generator
摘要
关键词
黑障/电感耦合等离子体/等离子体发生器/光谱诊断分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
袁野,张岩,郭成,刘玉献,薄勇,赵青..小型化高密度可调控电感耦合等离子体发生器性能研究[J].电子科技大学学报,2022,51(5):715-720,6.基金项目
四川省国际科技创新合作项目(2021YFH0057) （2021YFH0057）
四川省科技厅重点研发项目 (2021YFG0369) （2021YFG0369）
