硅酸盐通报2022，Vol.41Issue(9)：3259-3271,3278,14.
直拉法单晶硅制备过程控氧技术研究进展
Research Progress on Oxygen Control Technology During Preparation of Czochralski Single-Crystal Silicon
摘要
关键词
直拉法/单晶硅/控氧技术/热场结构/工艺参数/连续直拉法分类
数理科学引用本文复制引用
张梦宇,李太,杜汕霖,黄振玲,赵亮,吕国强,马文会..直拉法单晶硅制备过程控氧技术研究进展[J].硅酸盐通报,2022,41(9):3259-3271,3278,14.基金项目
云南省重点研发计划项目(202002AB080030,202103AA080003) （202002AB080030,202103AA080003）
