计量学报2022，Vol.43Issue(9)：1122-1127,6.DOI:10.3969/j.issn.1000-1158.2022.09.03
低噪声触针式表面粗糙度探测系统及测量不确定度分析
Evaluation of the Uncertainty for the Measurement of Surface Roughness by Low-noise Probing System
摘要
关键词
计量学/表面粗糙度/触针式测量仪/低噪声探测系统/Type C3标准样板/不确定度分类
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史舟淼,张树,施玉书,皮磊,胡佳成..低噪声触针式表面粗糙度探测系统及测量不确定度分析[J].计量学报,2022,43(9):1122-1127,6.基金项目
国家重点研发项目(2018YFF0212300) （2018YFF0212300）
质量技术基础能力建设(ANL2003) （ANL2003）
