计量学报2022,Vol.43Issue(9):1142-1146,5.DOI:10.3969/j.issn.1000-1158.2022.09.06
用于光热反射显微热成像的位置漂移修正方法
Position Drift Compensation Method for Thermoreflectance Microscopy
刘岩 1翟玉卫 1丁晨 1乔玉娥 1荆晓冬 1吴爱华1
作者信息
- 1. 中国电子科技集团公司第十三研究所,河北 石家庄050051
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摘要
关键词
计量学/亚像素图像配准/光热反射显微热成像/位置漂移/PID分类
通用工业技术引用本文复制引用
刘岩,翟玉卫,丁晨,乔玉娥,荆晓冬,吴爱华..用于光热反射显微热成像的位置漂移修正方法[J].计量学报,2022,43(9):1142-1146,5.