机电工程技术2022，Vol.51Issue(9)：132-136,5.DOI:10.3969/j.issn.1009-9492.2022.09.032
碳化硅外延设备控制系统的设计与实现
Design and Development of Control System for Silicon Carbide Epitaxial Equipment
摘要
关键词
碳化硅/外延/控制系统分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
戴科峰,仇礼钦,盛飞龙,高桑田,王鑫..碳化硅外延设备控制系统的设计与实现[J].机电工程技术,2022,51(9):132-136,5.基金项目
季华实验室项目(编号:X210241TC210) （编号:X210241TC210）
