强激光与粒子束2022,Vol.34Issue(11):143-152,10.DOI:10.11884/HPLPB202234.220013
六自由度气囊抛光机器人模态分析与中频误差抑制
Modal analysis and mid-spatial-frequency errors suppression of 6-DOF bonnet polishing robot
摘要
关键词
气囊抛光机器人/中频误差/模态分析/光学元件抛光分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
陆锋,王振忠,黄雪鹏,雷鹏立..六自由度气囊抛光机器人模态分析与中频误差抑制[J].强激光与粒子束,2022,34(11):143-152,10.基金项目
深圳市科技计划项目(JCYJ20180306172924636) (JCYJ20180306172924636)