液晶与显示2022，Vol.37Issue(10)：1310-1316,7.DOI:10.37188/CJLCD.2022-0125
柔性HfO2/Ta2O5叠层栅介质ZnO薄膜晶体管
Flexible HfO2/Ta2O5 stacking gate dielectric ZnO thin film transistor
摘要
关键词
PI/叠层栅电介质/磁控溅射法/溅射时长/氧氩比分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
胡伟涛,杨帆,杨小天,王超,王艳杰,孙名扬..柔性HfO2/Ta2O5叠层栅介质ZnO薄膜晶体管[J].液晶与显示,2022,37(10):1310-1316,7.基金项目
吉林省科技发展计划(No.20200201177JC,No.20210203021SF) （No.20200201177JC,No.20210203021SF）
吉林省科技厅中央引导地方科研项目(No.202002012JC) （No.202002012JC）
吉林省教育厅科学技术研究项目(No.JJKH20210256KJ,No.JJKH20210277KJ,No.JJKH20210276KJ) （No.JJKH20210256KJ,No.JJKH20210277KJ,No.JJKH20210276KJ）
