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基于光机热集成分析的大规模拼接焦面误差分配

牛盛光 郭亮 陆振玉 韩康

中国光学2022,Vol.15Issue(5):1000-1006,7.
中国光学2022,Vol.15Issue(5):1000-1006,7.DOI:10.37188/CO.2022-0094

基于光机热集成分析的大规模拼接焦面误差分配

Large-scale splicing focal plane error distribution based on optical-structural-thermal integration analysis

牛盛光 1郭亮 2陆振玉 1韩康1

作者信息

  • 1. 中国科学院 长春光学精密机械与物理研究所 吉林 长春 130033
  • 2. 中国科学院大学 北京 100049
  • 折叠

摘要

关键词

焦面变形/光机热集成分析/误差分配/CMOS拼接

分类

机械制造

引用本文复制引用

牛盛光,郭亮,陆振玉,韩康..基于光机热集成分析的大规模拼接焦面误差分配[J].中国光学,2022,15(5):1000-1006,7.

基金项目

国家自然科学基金资助项目(No.61605203) (No.61605203)

中国科学院青年创新促进会资助项目(No.2015173) (No.2015173)

中国光学

OA北大核心

2095-1531

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