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基于GaN HEMT器件的气体传感器制备及性能表征

何俊奇李汶懋

中阿科技论坛(中英文)Issue(9)：P.1-7,7.

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中阿科技论坛(中英文)Issue(9)：P.1-7,7.

基于GaN HEMT器件的气体传感器制备及性能表征

何俊奇 ¹李汶懋²

作者信息

1. 南方科技大学,广东深圳518055
2. 南方科技大学深港微电子学院,广东深圳518055
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摘要

关键词

CO/气体传感器/GaN/HEMT

分类

信息技术与安全科学

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何俊奇,李汶懋..基于GaN HEMT器件的气体传感器制备及性能表征[J].中阿科技论坛(中英文),2022,(9):P.1-7,7.

中阿科技论坛(中英文)

ISSN：2096-7268

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