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薄膜微结构换能元温度测量技术研究

张一中 韦学勇 张国栋 赵玉龙 平川 张蕊 任炜

传感技术学报2022，Vol.35Issue(8)：1011-1017,7.
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传感技术学报2022，Vol.35Issue(8)：1011-1017,7.DOI:10.3969/j.issn.1004-1699.2022.08.001

薄膜微结构换能元温度测量技术研究

Study on Temperature Measurement of Film Microstructure Energy Conversion Components

张一中 1韦学勇 1张国栋 1赵玉龙 1平川 2张蕊 2任炜2

作者信息

  • 1. 西安交通大学机械制造系统工程国家重点实验室,陕西 西安710054
  • 2. 陕西应用物理化学研究所应用物理化学国家级重点实验室,陕西 西安710061
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摘要

关键词

MEMS火工品/引发温度/薄膜微结构换能元/薄膜铂电阻

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

张一中,韦学勇,张国栋,赵玉龙,平川,张蕊,任炜..薄膜微结构换能元温度测量技术研究[J].传感技术学报,2022,35(8):1011-1017,7.

基金项目

装备预研领域基金项目(61406190504) （61406190504）

传感技术学报

OA北大核心CSCDCSTPCD

1004-1699

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