丽水学院学报2022，Vol.44Issue(5)：P.27-32,6.DOI:10.3969/j.issn.2095-3801.2022.05.004
基于玻璃微熔技术的高压传感器开发
毛亮亮 1章柯豪 1付忠亮2
作者信息
- 1. 丽水学院工学院,浙江丽水323000
- 2. 浙江毅力汽车空调有限公司,浙江龙泉323700
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摘要
关键词
玻璃微熔/微机系统(MEMS)/SOI硅力敏元件分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
毛亮亮,章柯豪,付忠亮..基于玻璃微熔技术的高压传感器开发[J].丽水学院学报,2022,44(5):P.27-32,6.
