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直流偏置对电容式微机械超声换能器性能影响的研究

索文宇 张文栋 任勇峰 吴敏 吴子君 何常德

机械制造与自动化2022，Vol.51Issue(5)：P.207-210,227,5.
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机械制造与自动化2022，Vol.51Issue(5)：P.207-210,227,5.

直流偏置对电容式微机械超声换能器性能影响的研究

索文宇 1张文栋 1任勇峰 1吴敏 2吴子君 2何常德1

作者信息

  • 1. 中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室,山西太原030051
  • 2. 国网山西省电力公司朔州供电公司,山西朔州036000
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摘要

关键词

电容式微机械超声换能器/直流偏置/发射特性/接收特性

分类

通用工业技术

引用本文复制引用

索文宇,张文栋,任勇峰,吴敏,吴子君,何常德..直流偏置对电容式微机械超声换能器性能影响的研究[J].机械制造与自动化,2022,51(5):P.207-210,227,5.

基金项目

国家重点研发计划项目(2018YFF01010500) （2018YFF01010500）

国网山西省电力公司科技项目(SGSXSZ00FCJS2000147)。 （SGSXSZ00FCJS2000147）

机械制造与自动化

OACSTPCD

1671-5276

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