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Hf_(0.5)Zr_(0.5)O_(2)超薄薄膜铁电性及其晶相演变

何业法 徐华义 邬海龙 周海芳 赖云锋

福州大学学报：自然科学版2022，Vol.50Issue(5)：P.616-620,5.
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福州大学学报：自然科学版2022，Vol.50Issue(5)：P.616-620,5.DOI:10.7631/issn.1000-2243.21562

Hf_(0.5)Zr_(0.5)O_(2)超薄薄膜铁电性及其晶相演变

何业法 1徐华义 1邬海龙 1周海芳 1赖云锋2

作者信息

  • 1. 福州大学物理与信息工程学院,福建福州350108
  • 2. 福州大学物理与信息工程学院,福建福州350108 中国福建光电信息科学与技术创新实验室(闽都创新实验室),福建福州350108
  • 折叠

摘要

关键词

铪锆氧/铁电薄膜/剩余极化强度/退火温度/正交相

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

何业法,徐华义,邬海龙,周海芳,赖云锋..Hf_(0.5)Zr_(0.5)O_(2)超薄薄膜铁电性及其晶相演变[J].福州大学学报：自然科学版,2022,50(5):P.616-620,5.

基金项目

福建省自然科学基金资助项目(2019J01218) （2019J01218）

中国福建光电信息科学与技术创新实验室资助项目(2021ZR145)。 （2021ZR145）

福州大学学报：自然科学版

OA北大核心CSTPCD

1000-2243

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