北京师范大学学报（自然科学版）2022，Vol.58Issue(5)：674-680,7.DOI:10.12202/j.0476-0301.2022238
基于磁过滤阴极真空弧沉积技术制备AlCrTiZrMo非晶高熵合金薄膜及其性能研究
AlCrTiZrMo amorphous high entropy alloy thin films prepared by magnetic filter cathode vacuum arc deposition
摘要
关键词
磁过滤阴极真空弧/非晶高熵合金薄膜/沉积离子能量分类
数理科学引用本文复制引用
陈淑年,廖斌,欧阳晓平..基于磁过滤阴极真空弧沉积技术制备AlCrTiZrMo非晶高熵合金薄膜及其性能研究[J].北京师范大学学报（自然科学版）,2022,58(5):674-680,7.基金项目
国家自然科学基金资助项目(U1865206) （U1865206）
