表面技术2022,Vol.51Issue(10):192-199,8.DOI:10.16490/j.cnki.issn.1001-3660.2022.10.019
含氢碳薄膜500℃退火前后摩擦学行为研究
The Results of Annealing Treatment of Hydrogenated Amorphous Carbon Film Is Affected by Its Intrinsic Structure
摘要
关键词
含氢碳薄膜/500℃退火/双极脉冲/干燥空气/甲醇环境/摩擦学性能分类
机械制造引用本文复制引用
黄民备,赖振国,张斌,龙美彪,高凯雄,张俊彦..含氢碳薄膜500℃退火前后摩擦学行为研究[J].表面技术,2022,51(10):192-199,8.基金项目
中国科学院青年创新促进会项目(2017459) (2017459)