桂林电子科技大学学报2022，Vol.42Issue(4)：259-264,6.
不同氧含量三明治结构BaTiO3薄膜的制备及其光电性能研究
Preparation and photoelectric properties of sandwich structure BaTiO3 films with different oxygen contents
摘要
关键词
BTO薄膜/射频磁控溅射/氧含量/三明治结构/光电性能分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
董艺,朱归胜,徐华蕊,韩茵,方荣宇,赵昀云..不同氧含量三明治结构BaTiO3薄膜的制备及其光电性能研究[J].桂林电子科技大学学报,2022,42(4):259-264,6.基金项目
国家自然科学基金(61540073) （61540073）
广西重大科技专项(AA18118001) （AA18118001）
广西电子信息材料构效关系重点实验室基金(201002-Z) （201002-Z）
广西科技基地和人才专项(桂科AD18281027) （桂科AD18281027）
