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基于锁相放大的集成电路内部电信号光学探测方法

刘鹏程 马英起 韩建伟

光学精密工程2022，Vol.30Issue(18)：2178-2186,9.
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光学精密工程2022，Vol.30Issue(18)：2178-2186,9.DOI:10.37188/OPE.20223018.2178

基于锁相放大的集成电路内部电信号光学探测方法

Optical detection method of electrical signals inside integrated circuits based on lock-in amplifier

刘鹏程 1马英起 2韩建伟1

作者信息

  • 1. 中国科学院国家空间科学中心空间天气学国家重点实验室,北京100190
  • 2. 中国科学院大学天文与空间科学学院,北京100049
  • 折叠

摘要

关键词

集成电路/锁相放大/电光探针/电光信号

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

刘鹏程,马英起,韩建伟..基于锁相放大的集成电路内部电信号光学探测方法[J].光学精密工程,2022,30(18):2178-2186,9.

基金项目

中国科学院青年创新促进会研究奖励基金项目(No.2018179) （No.2018179）

光学精密工程

OA北大核心

1004-924X

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