光学精密工程2022，Vol.30Issue(18)：2232-2240,9.DOI:10.37188/OPE.20223018.2232
电子束曲面直写的Monte Carlo仿真与实验
Monte Carlo simulation and experiments of electron beam direct writing on curved
摘要
关键词
电子束直写/Monte Carlo模拟/吸收能量沉积密度/散射截面/曲面器件分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
解孟涛,刘俊标,王鹏飞,张雨露,韩立..电子束曲面直写的Monte Carlo仿真与实验[J].光学精密工程,2022,30(18):2232-2240,9.基金项目
中国科学院科研仪器设备研制项目(No.GJJSTD20200003) （No.GJJSTD20200003）
广东省重点领域研发计划项目(No.2020B0101320002) （No.2020B0101320002）
