光学精密工程2022，Vol.30Issue(19)：2362-2369,8.DOI:10.37188/OPE.20223019.2362
多模态原子力显微镜的空气压膜阻尼效应
Effect of air squeeze film damping in multi-mode atomic force microscopy
摘要
关键词
原子力显微镜/压膜阻尼/品质因数/高阶谐振分类
机械制造引用本文复制引用
赵阳,黄强先..多模态原子力显微镜的空气压膜阻尼效应[J].光学精密工程,2022,30(19):2362-2369,8.基金项目
安徽省高校自然科学基金资助项目(No.KJ2019A0765) （No.KJ2019A0765）
国家自然科学基金资助项目(No.50975075) （No.50975075）
