电子束光刻“自主可控”EDA软件HNU-EBL

姚文泽徐宏成赵浩杰刘薇侯程阳陈艺勤段辉高刘杰

湖南大学学报：自然科学版2022，Vol.49Issue(10)：P.183-191,9.

湖南大学学报：自然科学版2022，Vol.49Issue(10)：P.183-191,9.DOI:10.16339/j.cnki.hdxbzkb.2022239

姚文泽 ¹徐宏成 ¹赵浩杰 ¹刘薇 ¹侯程阳 ¹陈艺勤 ²段辉高 ²刘杰¹

作者信息

电子束光刻/计算光刻/Monte Carlo方法/邻近效应校正/EDA软件

信息技术与安全科学

姚文泽,徐宏成,赵浩杰,刘薇,侯程阳,陈艺勤,段辉高,刘杰..电子束光刻“自主可控”EDA软件HNU-EBL[J].湖南大学学报：自然科学版,2022,49(10):P.183-191,9.

国家自然科学基金资助项目(61804049)。（61804049）

OA北大核心CSCDCSTPCD

ISSN：1674-2974

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