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单晶硅的磨削辅助电火花线切割机理研究

贾祯 李淑娟 麻高领 邵伟 乔畅 张晨

中国机械工程2022,Vol.33Issue(20):P.2459-2467,2475,10.
中国机械工程2022,Vol.33Issue(20):P.2459-2467,2475,10.DOI:10.3969/j.issn.1004-132X.2022.20.009

单晶硅的磨削辅助电火花线切割机理研究

贾祯 1李淑娟 1麻高领 1邵伟 1乔畅 1张晨1

作者信息

  • 1. 西安理工大学机械与精密仪器工程学院,西安710048
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摘要

关键词

单晶硅/磨削辅助电火花线切割/放电波形/切割机理

分类

矿业与冶金

引用本文复制引用

贾祯,李淑娟,麻高领,邵伟,乔畅,张晨..单晶硅的磨削辅助电火花线切割机理研究[J].中国机械工程,2022,33(20):P.2459-2467,2475,10.

基金项目

陕西省重点研发计划(2021GY-275)。 (2021GY-275)

中国机械工程

OA北大核心CSCDCSTPCD

1004-132X

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