中国机械工程2022,Vol.33Issue(20):P.2459-2467,2475,10.DOI:10.3969/j.issn.1004-132X.2022.20.009
单晶硅的磨削辅助电火花线切割机理研究
摘要
关键词
单晶硅/磨削辅助电火花线切割/放电波形/切割机理分类
矿业与冶金引用本文复制引用
贾祯,李淑娟,麻高领,邵伟,乔畅,张晨..单晶硅的磨削辅助电火花线切割机理研究[J].中国机械工程,2022,33(20):P.2459-2467,2475,10.基金项目
陕西省重点研发计划(2021GY-275)。 (2021GY-275)