材料科学与工程学报2022，Vol.40Issue(5)：P.756-761,6.
微波退火下钛调制镍与P型锗的固相反应
杨俊 1平云霞 2刘伟 1张波3
作者信息
- 1. 上海工程技术大学数理与统计学院,上海201620 中国科学院上海微系统与信息技术研究所/信息功能材料国家重点实验室,上海200050
- 2. 上海工程技术大学数理与统计学院,上海201620
- 3. 中国科学院上海微系统与信息技术研究所/信息功能材料国家重点实验室,上海200050
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摘要
关键词
微波退火/镍锗化物/钛中间层分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
杨俊,平云霞,刘伟,张波..微波退火下钛调制镍与P型锗的固相反应[J].材料科学与工程学报,2022,40(5):P.756-761,6.基金项目
国家自然科学基金资助项目(61604094)。 （61604094）
