光学精密工程2022，Vol.30Issue(20)：P.2467-2478,12.DOI:10.37188/OPE.20223020.2467
长导轨五自由度测量中直线度精度提升方法与优化设计
摘要
关键词
光束漂移/角度串扰/四象限探测器/长距离/多项式拟合/三次样条插值拟合分类
通用工业技术引用本文复制引用
张聪,刘文正,段发阶,傅骁,王新星..长导轨五自由度测量中直线度精度提升方法与优化设计[J].光学精密工程,2022,30(20):P.2467-2478,12.基金项目
国家重点研发计划项目(No.2020YFB2010800) （No.2020YFB2010800）
国家自然科学基金项目(No.61905175,No.61971307) （No.61905175,No.61971307）
国家重点实验室探索课题项目(No.Pilt2103) （No.Pilt2103）
霍英东教育基金会资助项目(No.171055) （No.171055）
青年人才托举工程项目(No.2021QNRC001) （No.2021QNRC001）
广东省重点研发计划项目(No.2020B0404030001) （No.2020B0404030001）
国防科技重点实验室基金项目(No.6142212210304)。 （No.6142212210304）
