金刚石与磨料磨具工程2022，Vol.42Issue(5)：P.610-616,7.DOI:10.13394/j.cnki.jgszz.2022.5001
GaN晶片芬顿反应化学机械抛光液组分优化
摘要
关键词
GaN晶片/芬顿反应/CMP抛光/催化剂分类
矿业与冶金引用本文复制引用
严杰文,路家斌,黄银黎,潘继生,阎秋生..GaN晶片芬顿反应化学机械抛光液组分优化[J].金刚石与磨料磨具工程,2022,42(5):P.610-616,7.基金项目
国家自然科学基金(52075102、52175385) （52075102、52175385）
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佛山市科技创新团队专项(2018IT100242)。 （2018IT100242）
