激光技术2022，Vol.46Issue(6)：767-772,6.DOI:10.7510/jgjs.issn.1001-3806.2022.06.009
266nm纳秒固体激光在CH薄膜上打孔的工艺实验研究
Experimental investigation on 266nm nanosecond solid-state laser drilling on CH film
摘要
关键词
激光技术/激光加工CH膜/工艺实验/266nm纳秒固体激光/微孔/烧蚀特征/材料去除分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
齐立涛,刘凤聪..266nm纳秒固体激光在CH薄膜上打孔的工艺实验研究[J].激光技术,2022,46(6):767-772,6.基金项目
黑龙江省自然科学基金资助项目(LH2021E107) （LH2021E107）
黑龙江省教育厅× ×专项资金资助项目(Hkdjr201905) （Hkdjr201905）
黑龙江省省属高等学校基本科研业务费科研项目(2018-KYYWF-1168) （2018-KYYWF-1168）
