云南化工2022，Vol.49Issue(10)：29-31,3.DOI:10.3969/j.issn.1004-275X.2022.10.08
锗化学机械抛光工艺中绿色环保氧化剂的研究
Study on Green Oxidant in Germanium Chemical Mechanical Polishing Process
李娇 1普世坤 1陈代凤 1李国芳 1王美春1
作者信息
- 1. 云南临沧鑫圆锗业股份有限公司,云南 临沧 677000
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摘要
关键词
锗/化学机械抛光/氧化剂/绿色环保分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
李娇,普世坤,陈代凤,李国芳,王美春..锗化学机械抛光工艺中绿色环保氧化剂的研究[J].云南化工,2022,49(10):29-31,3.
