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含氢四面体非晶碳膜的制备与结构及力学性能

许世鹏 占发琦 郑月红 陈维铅 喇培清

硅酸盐学报2022，Vol.50Issue(10)：P.2651-2656,6.
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硅酸盐学报2022，Vol.50Issue(10)：P.2651-2656,6.DOI:10.14062/j.issn.0454-5648.20220173

含氢四面体非晶碳膜的制备与结构及力学性能

许世鹏 1占发琦 2郑月红 2陈维铅 1喇培清2

作者信息

  • 1. 有色金属先进加工与再利用国家重点实验室,兰州理工大学,兰州730050 甘肃省太阳能发电系统工程重点实验室,酒泉职业技术学院,甘肃酒泉735000
  • 2. 有色金属先进加工与再利用国家重点实验室,兰州理工大学,兰州730050
  • 折叠

摘要

关键词

含氢四面体非晶碳膜/力学性能/等离子增强化学气相沉积/微观结构

分类

化学化工

引用本文复制引用

许世鹏,占发琦,郑月红,陈维铅,喇培清..含氢四面体非晶碳膜的制备与结构及力学性能[J].硅酸盐学报,2022,50(10):P.2651-2656,6.

基金项目

甘肃省科技计划项目(18YF1WA069) （18YF1WA069）

甘肃省高等学校创新能力提升项目(2020A-030,2020A-286,2022B-475)。 （2020A-030,2020A-286,2022B-475）

硅酸盐学报

OA北大核心CSCDCSTPCD

0454-5648

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