应用化学2022，Vol.39Issue(10)：P.1579-1585,7.DOI:10.19894/j.issn.1000-0518.210562
聚醚胺表面活性剂在铜阻挡层抛光中的应用
刘琳 1何华锋2
作者信息
- 1. 同济大学材料科学与工程学院,上海200092
- 2. 同济大学材料科学与工程学院,上海200092 安集微电子科技(上海)股份有限公司,上海201203
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刘琳,何华锋..聚醚胺表面活性剂在铜阻挡层抛光中的应用[J].应用化学,2022,39(10):P.1579-1585,7.
