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真空电子技术
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基于潘宁放电的离子枪研发
基于潘宁放电的离子枪研发
石晓倩
郭方准
李敏
真空电子技术
Issue(5):P.100-104,5.
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真空电子技术
Issue(5)
:P.100-104,5.
DOI:10.16540/j.cnki.cn11-2485/tn.2022.05.19
基于潘宁放电的离子枪研发
石晓倩
1
郭方准
1
李敏
1
作者信息
1.
大连交通大学机械工程学院,辽宁大连116028
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摘要
关键词
离子枪
/
潘宁放电
/
等离子体
/
表面科学
分类
能源科技
引用本文
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石晓倩,郭方准,李敏..基于潘宁放电的离子枪研发[J].真空电子技术,2022,(5):P.100-104,5.
基金项目
辽宁省教育厅“攀登学者”项目 ()
真空电子技术
ISSN:
1002-8935
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