真空电子技术Issue(5)：P.1-12,19,13.DOI:10.16540/j.cnki.cn11-2485/tn.2022.05.01
化学气相沉积大尺寸多晶金刚石膜及其应用研究进展
摘要
关键词
金刚石/化学气相沉积/微波等离子体化学气相沉积/金刚石光学窗口/高功率CO_(2)激光器/红外热成像分类
数理科学引用本文复制引用
李义锋,姜龙,安晓明,刘晓晨,张雅琳,仝婷婷,李文江,葛新岗,张平伟,郭辉,孙振路..化学气相沉积大尺寸多晶金刚石膜及其应用研究进展[J].真空电子技术,2022,(5):P.1-12,19,13.基金项目
国家磁约核聚变能发展研究专项资助(2019YFE03100300) （2019YFE03100300）
河北省科学院科技计划项目(2022G12) （2022G12）
河北省自然科学基金项目(E2019302005)。 （E2019302005）
