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不同氮离子注入参数对聚四氟乙烯表面电荷积聚消散特性的影响

何友辉 陈洪斌 李飞 宋法伦

强激光与粒子束2022，Vol.34Issue(12)：119-131,13.
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强激光与粒子束2022，Vol.34Issue(12)：119-131,13.DOI:10.11884/HPLPB202234.220213

不同氮离子注入参数对聚四氟乙烯表面电荷积聚消散特性的影响

Effect of different nitrogen ion implantation parameters on surface charge accumulation and dissipation characteristics of polytetrafluoroethene

何友辉 1陈洪斌 2李飞 2宋法伦2

作者信息

  • 1. 中国工程物理研究院研究生院,四川绵阳621900
  • 2. 中国工程物理研究院应用电子学研究所,四川绵阳621900
  • 折叠

摘要

关键词

聚四氟乙烯/氮离子注入/表面电荷/积聚消散/表面电阻率/表面陷阱特性

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

何友辉,陈洪斌,李飞,宋法伦..不同氮离子注入参数对聚四氟乙烯表面电荷积聚消散特性的影响[J].强激光与粒子束,2022,34(12):119-131,13.

基金项目

国家自然科学基金项目(51907182) （51907182）

强激光与粒子束

OA北大核心CSCDCSTPCD

1001-4322

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